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Realization of SOI submicrometer optical waveguide components - art. no. 68380L 会议论文
OPTOELECTRONIC DEVICES AND INTEGRATION II, Beijing, PEOPLES R CHINA, NOV 12-15, 2007
作者:  Xu XJ;  Chen SW;  Yu JZ;  Tu XG;  Xu, XJ, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, State Key Lab Optoelect, POB 912, Beijing 100083, Peoples R China.
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Silicon-on-insulator