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| 基于Al-Sc触点MEMS开关的移相器研究 学位论文
工学硕士, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2023
作者: 张永康
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| 高线性薄膜铌酸锂调制器研究 学位论文
工学博士, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2023
作者: 赵奕儒
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| 高精度MEMS陀螺仪与测控电路系统关键技术研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022
作者: 胥鹏飞
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| 基于氮化物的声表面波温度传感器研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022
作者: 吕宏瑞
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| 植入式高通量神经微电极器件研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022
作者: 魏春蓉
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| 高精度MEMS陀螺仪与测控电路系统关键技术研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022
作者: 胥鹏飞
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| 用于星载大气激光雷达的微弱回波模拟器关键技术研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者: 张观欣
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| 无权访问的条目 学位论文
作者: 陈泽基
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| 用于微纳米材料热电性能测量的微悬空结构研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者: 魏江涛
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| 面向血压监测的微型MEMS压阻式压力传感器的研究与制备 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者: 宋培帅
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