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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Li, Yong;   Li, Xiao-Ming;   Hao, Rui-Ting;   Guo, Jie;   Zhuang, Yu;   Cui, Su-Ning;   Wei, Guo-Shuai;   Ma, Xiao-Le;   Wang, Guo-Wei;   Xu, Ying-Qiang;   Niu, Zhi-Chuan;   Wang, Yao
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Wang, Xiao-Wei;   Liu, Zong-Shun;   Zhao, De-Gang;   Chen, Ping;   Liang, Feng;   Yang, Jing
Adobe PDF(2595Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：0/0  |  提交时间：2022/05/19
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Ma, Dongfeng;   Mao, Shengcheng;   Teng, Jiao;   Wang, Xinliang;   Li, Xiaochen;   Ning, Jin;   Li, Zhipeng;   Zhang, Qing;   Tian, Zhiyong;   Wang, Menglong;   Zhang, Ze;   Han, Xiaodong
Adobe PDF(3182Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：0/0  |  提交时间：2022/03/23
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Hu, Haoyue;   Xiao, Hongling;   Guo, Fen;   Wang, Quan;   Feng, Chun;   Jiang, Lijuan;   Wang, Qian;   Liu, Hongxin;   Wang, Xiaoliang
Adobe PDF(1547Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：0/0  |  提交时间：2022/07/26
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Zhaolong Chen;  Xiang Zhang;  Zhipeng Dou;  Tongbo Wei;  Zhiqiang Liu;  Yue Qi;  Haina Ci;  Yunyu Wang;  Yang Li;  Hongliang Chang;  Jianchang Yan;  Shenyuan Yang;  Yanfeng Zhang;  Junxi Wang;  Peng Gao;  Jinmin Li;  Zhongfan Liu
Adobe PDF(2224Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：109/0  |  提交时间：2019/11/15
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Xiaoting Wang;  Yongtao Li;  Le Huang;  Xiang-Wei Jiang;  Lang Jiang;  Huanli Dong;  Zhongming Wei;  Jingbo Li;  Wenping Hu
Adobe PDF(3538Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：162/0  |  提交时间：2018/06/15
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Zhou W;  Yang JL;  Li Y;  Ji A;  Yang FH;  Yu YD;  Yang JL Chinese Acad Sci Inst Semicond Qinghua Donglu A 35 Beijing 100083 Peoples R China. E-mail Address: jlyang@semi.ac.cn
Adobe PDF(646Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：1400/494  |  提交时间：2010/03/08
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Zhou, W;  Yang, JL;  Sun, GS;  Liu, XF;  Yang, FH;  Li, JM;  Zhou, W, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, Beijing 100083, Peoples R China. 电子邮箱地址: jlyang@semi.ac.cn
Adobe PDF(750Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：1101/423  |  提交时间：2010/03/08
Fracture properties of silicon carbide thin films charcterized by bulge test of long membranes 会议论文
2008 3RD IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANO/MICRO ENGINEERED AND MOLECULAR SYSTEMS, Sanya, PEOPLES R CHINA, JAN 06-09, 2008
作者:  Zhou, W;  Yang, JL;  Sun, GS;  Liu, XF;  Yang, FH;  Li, JM;  Zhou, W, CAS, Inst Semicond, Beijing 100864, Peoples R China.
Adobe PDF(511Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：2016/511  |  提交时间：2010/03/09
Bulge Test Fracture Property  Silicon Carbide Thin Films  Weibull Distribution Function  
Fracture properties of PECVD silicon nitride thin films by long rectangular memrane bulge test 会议论文
2008 3RD IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANO/MICRO ENGINEERED AND MOLECULAR SYSTEMS, Sanya, PEOPLES R CHINA, JAN 06-09, 2008
作者:  Zhou, W;  Yang, JL;  Li, Y;  Yang, FH;  Yang, JL, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, Beijing 100864, Peoples R China.
Adobe PDF(267Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：1394/372  |  提交时间：2010/03/09
Bulge Test  Fracture Property  Silicon Nitride  Weibull Distribution Function