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ф2”和 ф3”非掺Si-GaAs单晶（片）研究 成果
1996
主要完成人:  林兰英;  曹福;  白玉珂;  惠峰;  卜俊鹏
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Si-gaas  
电子级气体N2、H2、O2、Ar、He、HCl、CO2、NH3 28种杂质分析技术及质量监控 成果
1991
主要完成人:  闻瑞梅;  李希云;  王铁龄;  王桂英
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电子级气体