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无权访问的条目 学位论文
作者:  刘美杰
Adobe PDF(4622Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2021/12/16
碳化硅超级结结构关键工艺研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者:  田润
Adobe PDF(4990Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：481/3  |  提交时间：2021/06/17
用于微纳米材料热电性能测量的微悬空结构研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者:  魏江涛
Adobe PDF(5222Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：305/0  |  提交时间：2021/06/17
面向血压监测的微型MEMS压阻式压力传感器的研究与制备 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者:  宋培帅
Adobe PDF(4880Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：360/3  |  提交时间：2021/06/18
基于硅-玻璃盖板的MEMS加速度计制备研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者:  何昱蓉
Adobe PDF(4765Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：362/0  |  提交时间：2021/06/16
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Wei Jiang-Tao;   Yang Liang-Liang;   Qin Yuan-Hao;   Song Pei-Shuai;   Zhang Ming-Liang;   Yang Fu-Hua;   Wang Xiao-Dong
Adobe PDF(2303Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：0/0  |  提交时间：2022/09/30
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Liu, Meijie;   Zhu, Yinfang;   Zhao, Junyuan;   Wang, Lihao;   Yang, Jinling;   Yang, Fuhua
Adobe PDF(47403Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：0/0  |  提交时间：2022/03/28
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Guo, Zhiyu;   Wu, Jingmin;   Tian, Run;   Wang, Fengxuan;   Xu, Pengfei;   Yang, Xiang;   Fan, Zhongchao;   Yang, Fuhua;   He, Zhi
Adobe PDF(2921Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：0/0  |  提交时间：2022/05/19
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Ma, Dongfeng;   Mao, Shengcheng;   Teng, Jiao;   Wang, Xinliang;   Li, Xiaochen;   Ning, Jin;   Li, Zhipeng;   Zhang, Qing;   Tian, Zhiyong;   Wang, Menglong;   Zhang, Ze;   Han, Xiaodong
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Gao, Zijie;   Shi, Yanpeng;   Li, Meiping;   Song, Jinmei;   Liu, Xiaoyu;   Wang, Xiaodong;   Yang, Fuhua
Adobe PDF(3230Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：0/0  |  提交时间：2022/03/28