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| 无权访问的条目 期刊论文 作者: Hou QF (Hou Qi-Feng); Wang XL (Wang Xiao-Liang); Xiao; HL (Xiao Hong-Ling); Wang CM (Wang Cui-Mei); Yang CB (Yang Cui-Bai); Li JM (Li Jin-Min); Hou, QF, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, Ctr Mat Sci, POB 912, Beijing 100083, Peoples R China. 电子邮箱地址: qfhou@semi.ac.cn Adobe PDF(447Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1333/355  |  提交时间:2010/05/24 |
| 用于金属有机物化学沉积设备的扇形进气喷头 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN201010033960.X, 公开日期: 2011-08-31, 2011-08-31, 2011-08-31 发明人: 胡国新; 王晓亮; 冉军学; 肖红领; 殷海波; 张露; 李晋闽 Adobe PDF(346Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1432/177  |  提交时间:2011/08/31 |
| 一种化学气相沉积装置 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN201010162506.4, 公开日期: 2011-08-31 发明人: 段瑞飞; 曾一平; 王军喜; 冉军学; 胡国新; 羊建坤; 梁勇; 路红喜; 李晋闽 Adobe PDF(392Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1746/272  |  提交时间:2011/08/31 |
| 用于金属有机物化学沉积设备的衬托盘及其制作工艺 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN201010033965.2, 公开日期: 2011-08-31 发明人: 殷海波; 王晓亮; 胡国新; 冉军学; 肖红领; 张露; 李晋闽 Adobe PDF(510Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1571/239  |  提交时间:2011/08/31 |
| 一种用于金属有机物化学气相沉积设备的进气喷头结构 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN201010269018.3, 公开日期: 2011-08-31 发明人: 冉军学; 胡国新; 梁勇; 王军喜; 段瑞飞; 曾一平; 李晋闽 Adobe PDF(756Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1477/250  |  提交时间:2011/08/31 |
| Ⅲ-氮化物半导体材料pn结的制作方法 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN200910236706.7, 公开日期: 2011-08-31 发明人: 冉军学; 王晓亮; 李建平; 胡国新; 肖红领; 王翠梅; 杨翠柏; 李晋闽 Adobe PDF(328Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1663/301  |  提交时间:2011/08/31 |
| 用于金属有机物化学沉积设备的气路装置 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN201010033967.1, 公开日期: 2011-08-31 发明人: 冉军学; 王晓亮; 胡国新; 肖红领; 张露; 殷海波; 李晋闽 Adobe PDF(417Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1519/254  |  提交时间:2011/08/31 |
| 用于金属有机物化学沉积设备的加热装置 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN201010033964.8, 公开日期: 2011-08-31 发明人: 胡国新; 王晓亮; 冉军学; 肖红领; 张露; 殷海波; 李晋闽 Adobe PDF(299Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1509/258  |  提交时间:2011/08/31 |
| 用于金属有机物化学沉积设备的气体分配装置 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN201010033962.9, 公开日期: 2011-08-31 发明人: 王晓亮; 冉军学; 胡国新; 肖红领; 张露; 殷海波; 李晋闽 Adobe PDF(341Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1651/273  |  提交时间:2011/08/31 |
| 金属有机物化学沉积设备的反应室 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN201010033963.3, 公开日期: 2011-08-31 发明人: 冉军学; 王晓亮; 胡国新; 肖红领; 殷海波; 张露; 李晋闽 Adobe PDF(427Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1570/260  |  提交时间:2011/08/31 |