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| ZnO基MEMS NO2 气体传感器的制备及性能优化研究 学位论文 工学硕士, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2023 作者: 卢晓锐 Adobe PDF(7894Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:572/1  |  提交时间:2023/07/03 |
| 血压监测 MEMS 压力传感器制备及可植入封装 学位论文 工程硕士, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2023 作者: 尤志伟 Adobe PDF(8420Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:649/1  |  提交时间:2023/07/03 |
| 高精度MEMS陀螺仪与测控电路系统关键技术研究 学位论文 , 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022 作者: 胥鹏飞 Adobe PDF(10317Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:383/2  |  提交时间:2022/07/15 |
| 基于等离子体波的室温场效应晶体管微波太赫兹探测器 学位论文 , 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022 作者: 黄镇 Adobe PDF(43171Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:499/5  |  提交时间:2022/07/15 |
| 高精度MEMS陀螺仪与测控电路系统关键技术研究 学位论文 , 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022 作者: 胥鹏飞 Adobe PDF(10317Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:637/2  |  提交时间:2022/07/25 |
| 面向血压监测的微型MEMS压阻式压力传感器的研究与制备 学位论文 , 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021 作者: 宋培帅 Adobe PDF(4880Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:469/3  |  提交时间:2021/06/18 |
| 可级联椭圆结构AlN BAW谐振器研究 学位论文 , 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2019 作者: 杨帆 Adobe PDF(4558Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:525/8  |  提交时间:2019/11/12 |
| 谐振型集成光学陀螺仪波导环形谐振腔以及信号处理系统的研究 学位论文 , 北京: 中国科学院研究生院, 2018 作者: 费瑶 Adobe PDF(5473Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:783/34  |  提交时间:2018/06/01 光学陀螺 Sagnac效应 集成光学 平面光波导 |
| 氮化铝MEMS面内伸缩模态谐振器(CMR)的研究 学位论文 , 北京: 中国科学院大学, 2017 作者: 侯云虹 Adobe PDF(2817Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:861/30  |  提交时间:2017/06/01 |
| 固体脉冲激光器应用于非晶硅薄膜结晶的研究 学位论文 , 北京: 中国科学院大学, 2017 作者: 王帅 Adobe PDF(1904Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:750/18  |  提交时间:2017/06/01 |