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ZnO基MEMS NO2 气体传感器的制备及性能优化研究 学位论文
工学硕士, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2023
作者:  卢晓锐
Adobe PDF(7894Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：264/1  |  提交时间：2023/07/03
血压监测 MEMS 压力传感器制备及可植入封装 学位论文
工程硕士, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2023
作者:  尤志伟
Adobe PDF(8420Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：353/1  |  提交时间：2023/07/03
高精度MEMS陀螺仪与测控电路系统关键技术研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022
作者:  胥鹏飞
Adobe PDF(10317Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：290/2  |  提交时间：2022/07/15
基于等离子体波的室温场效应晶体管微波太赫兹探测器 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022
作者:  黄镇
Adobe PDF(43171Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：344/5  |  提交时间：2022/07/15
高精度MEMS陀螺仪与测控电路系统关键技术研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022
作者:  胥鹏飞
Adobe PDF(10317Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：431/2  |  提交时间：2022/07/25
面向血压监测的微型MEMS压阻式压力传感器的研究与制备 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者:  宋培帅
Adobe PDF(4880Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：379/3  |  提交时间：2021/06/18
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Zhang, Taonan;   Liu, Runcong;   Yang, Jinling;   Wang, Xiaodong
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Xu, Pengfei;   Wei, Zhenyu;   Jia, Lu;   Zhao, Yongmei;   Han, Guowei;   Si, Chaowei;   Ning, Jin;   Yang, Fuhua
Adobe PDF(5513Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：0/0  |  提交时间：2022/03/28
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Liu, Wenli;   Chen, Zeji;   Kan, Xiao;   Wang, Tianyun;   Jia, Qianqian;   Zhu, Yinfang;   Zhao, Jicong;   Yuan, Quan;   Yang, Jinling;   Yang, Fuhua
Adobe PDF(2297Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：0/0  |  提交时间：2022/11/03
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Ma, Zhe;   Wei, Jiangtao;   Song, Peishuai;   Zhang, Mingliang;   Yang, Liangliang;   Ma, Jing;   Liu, Wen;   Yang, Fuhua;   Wang, Xiaodong
Adobe PDF(11539Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：0/0  |  提交时间：2022/12/29