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中国科学院半导体研究所机构知识库
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半导体集成技术工程研... [3]
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学位论文 [3]
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2022 [3]
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发表日期:2022
专题:半导体集成技术工程研究中心
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4H-SiC UMOSFETs 器件设计与关键工艺研发
学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022
作者:
郭志煜
Adobe PDF(10262Kb)
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提交时间:2022/07/26
4H-SiC UMOSFETs 器件设计与关键工艺研发
学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022
作者:
郭志煜
Adobe PDF(10262Kb)
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提交时间:2022/07/15
N型注入4H-SiC脉冲激光退火激活研究
学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022
作者:
武婧敏
Adobe PDF(5212Kb)
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提交时间:2022/07/15