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利用光辅助氧化湿法刻蚀Ⅲ族氮化物的方法 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2010-08-12, 公开日期: 2010-01-13, 2010-08-12
发明人:  刘文宝;  孙 苋;  赵德刚;  刘宗顺;  张书明;  朱建军;  杨 辉
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Ⅲ族氮化物结构与应变性质的高分辨X 射线衍射研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2010
作者:  郭希
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