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A SIMPLE METHOD FOR EFFECTIVELY RESTRAIN ELECTROCHEMICAL CORROSION OF POLYCRYSTALLINE SILICON BY HF-BASED SOLUTIONS 会议论文
PROCEEDINGS: IEEE MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS 页: 205-208, Cancun, MEXICO, 2011
作者:  Xie J (Xie J.);  Liu YF (Liu Y. F.);  Zhang ML (Zhang M. L.);  Yang JL (Yang J. L.);  Yang FH (Yang F. H.)
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Liu YF;  Xie J;  Zhang ML;  Yang JL;  Yang FH;  Liu, YF, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, Beijing 100083, Peoples R China. jlyang@semi.ac.cn
Adobe PDF(583Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：1232/270  |  提交时间：2011/07/06