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Nano-layer structure of silicon-on-insulator materials 会议论文
JOURNAL OF THE KOREAN PHYSICAL SOCIETY, 42, SEOUL, SOUTH KOREA, AUG 20-23, 2002
作者:  Wang X;  Chen M;  Chen J;  Dong YN;  Liu XH;  He P;  Tian LL;  Liu ZL;  Chen J Chinese Acad Sci Shanghai Inst Microsyst & Informat Technol Ion Beam Lab 865 Changning Rd Shanghai 200050 Peoples R China.
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Soi  Nanostructure  Microelectronic Materials  
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Wang X;  Chen M;  Chen J;  Dong YN;  Liu XH;  He P;  Tian LL;  Liu ZL;  Chen J,Chinese Acad Sci,Shanghai Inst Microsyst & Informat Technol,Ion Beam Lab,865 Changning Rd,Shanghai 200050,Peoples R China.
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