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中国科学院半导体研究所机构知识库
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Hydrogen related defects in neutron-irradiated silicon grown in hydrogen ambient
会议论文
MICROELECTRONIC ENGINEERING, 66 (1-4), XIAN, PEOPLES R CHINA, JUN 10-14, 2002
作者:
Wang QY
;
Wang JH
;
Deng HF
;
Lin LY
;
Wang QY Chinese Acad Sci Inst Semicond Mat Sci Ctr Beijing 100083 Peoples R China.
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提交时间:2010/11/15
Neutron Irradiation
Annealing
Defects In Silicon
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期刊论文
作者:
Wang QY
;
Wang JH
;
Deng HF
;
Lin LY
;
Wang QY,Chinese Acad Sci,Inst Semicond,Mat Sci Ctr,Beijing 100083,Peoples R China.
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提交时间:2010/08/12