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一种纳米尺寸空气槽的制作方法 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2009-05-06, 公开日期: 3993
发明人:  屠晓光;  陈少武 
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Xu XJ;  Chen SW;  Yu JZ;  Tu XG;  Xu XJ Chinese Acad Sci Inst Semicond State Key Lab Integrated Optoelect POB 912 Beijing 100083 Peoples R China. E-mail Address: xjxu@semi.ac.cn
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  陈少武;  余金中;  徐学俊;  黄庆忠;  余和军;  屠晓光;  李运涛
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