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ZnO基MEMS NO2 气体传感器的制备及性能优化研究 学位论文
工学硕士, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2023
作者:  卢晓锐
Adobe PDF(7894Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：574/1  |  提交时间：2023/07/03
血压监测 MEMS 压力传感器制备及可植入封装 学位论文
工程硕士, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2023
作者:  尤志伟
Adobe PDF(8420Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：650/1  |  提交时间：2023/07/03
无权访问的条目 学位论文
作者:  陈泽基
Adobe PDF(20939Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2021/06/17
基于硅-玻璃盖板的MEMS加速度计制备研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者:  何昱蓉
Adobe PDF(4765Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：479/0  |  提交时间：2021/06/16
无权访问的条目 期刊论文
作者:  He, Yurong;   Si, Chaowei;   Han, Guowei;   Zhao, Yongmei;   Ning, Jin;   Yang, Fuhua
Adobe PDF(3973Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：0/0  |  提交时间：2022/11/03
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Liu, Wenli;   Chen, Zeji;   Kan, Xiao;   Wang, Tianyun;   Jia, Qianqian;   Zhu, Yinfang;   Zhao, Jicong;   Yuan, Quan;   Yang, Jinling;   Yang, Fuhua
Adobe PDF(2297Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：0/0  |  提交时间：2022/11/03
高性能MEMS加速度计的研究与制备 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2020
作者:  张萌
Adobe PDF(5845Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：727/6  |  提交时间：2020/08/31
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Peishuai Song;  Zhe Ma;  Jing Ma;  Liangliang Yang;  Jiangtao Wei;  Yongmei Zhao;  Mingliang Zhang;  Fuhua Yang ;  Xiaodong Wang
Adobe PDF(5020Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：0/0  |  提交时间：2021/12/16
可级联椭圆结构AlN BAW谐振器研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2019
作者:  杨帆
Adobe PDF(4558Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：525/8  |  提交时间：2019/11/12
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Meng Zhang;   Jian Yang ;   Yurong He ;   Fan Yang ;   Fuhua Yang ;   Guowei Han ;   Chaowei Si;   Jin Ning
Adobe PDF(3329Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：60/0  |  提交时间：2020/08/05