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| ZnO基MEMS NO2 气体传感器的制备及性能优化研究 学位论文 工学硕士, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2023 作者: 卢晓锐 Adobe PDF(7894Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:576/1  |  提交时间:2023/07/03 |
| 血压监测 MEMS 压力传感器制备及可植入封装 学位论文 工程硕士, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2023 作者: 尤志伟 Adobe PDF(8420Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:653/1  |  提交时间:2023/07/03 |
| 高精度MEMS陀螺仪与测控电路系统关键技术研究 学位论文 , 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022 作者: 胥鹏飞 Adobe PDF(10317Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:383/2  |  提交时间:2022/07/15 |
| 高精度MEMS陀螺仪与测控电路系统关键技术研究 学位论文 , 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022 作者: 胥鹏飞 Adobe PDF(10317Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:641/2  |  提交时间:2022/07/25 |
| 无权访问的条目 学位论文 作者: 赵俊元 Adobe PDF(6365Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1/0  |  提交时间:2021/12/16 |
| 用于微纳米材料热电性能测量的微悬空结构研究 学位论文 , 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021 作者: 魏江涛 Adobe PDF(5222Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:520/1  |  提交时间:2021/06/17 |
| 面向血压监测的微型MEMS压阻式压力传感器的研究与制备 学位论文 , 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021 作者: 宋培帅 Adobe PDF(4880Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:470/3  |  提交时间:2021/06/18 |
| 基于硅-玻璃盖板的MEMS加速度计制备研究 学位论文 , 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021 作者: 何昱蓉 Adobe PDF(4765Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:480/0  |  提交时间:2021/06/16 |
| 无权访问的条目 期刊论文 作者: Wei Jiang-Tao; Yang Liang-Liang; Qin Yuan-Hao; Song Pei-Shuai; Zhang Ming-Liang; Yang Fu-Hua; Wang Xiao-Dong Adobe PDF(2303Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:0/0  |  提交时间:2022/09/30 |
| 高性能MEMS加速度计的研究与制备 学位论文 , 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2020 作者: 张萌 Adobe PDF(5845Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:734/6  |  提交时间:2020/08/31 |