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| 面向血压监测的微型MEMS压阻式压力传感器的研究与制备 学位论文 , 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021 作者: 宋培帅 Adobe PDF(4880Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:392/3  |  提交时间:2021/06/18 |
| 高性能MEMS加速度计的研究与制备 学位论文 , 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2020 作者: 张萌 Adobe PDF(5845Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:613/6  |  提交时间:2020/08/31 |
| AlGaN/GaN电力电子器件的设计、制备与可靠性分析 学位论文 , 北京: 中国科学院研究生院, 2018 作者: 梁亚楠 Adobe PDF(6135Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:767/63  |  提交时间:2018/06/01 |
| 无权访问的条目 学位论文 作者: 王凤翔 Adobe PDF(4982Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:133/4  |  提交时间:2018/05/24 |
| 氮化铝MEMS面内伸缩模态谐振器(CMR)的研究 学位论文 , 北京: 中国科学院大学, 2017 作者: 侯云虹 Adobe PDF(2817Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:738/30  |  提交时间:2017/06/01 |
| 无权访问的条目 学位论文 作者: 赵继聪 Adobe PDF(5305Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:308/4  |  提交时间:2017/05/31 |
| 无权访问的条目 学位论文 作者: 吕兴东 Adobe PDF(6169Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:264/6  |  提交时间:2016/06/02 |
| 新型阵列级联耦合结构AlN谐振器的研制 学位论文 , 北京: 中国科学院研究生院, 2016 作者: 张萌 Adobe PDF(3003Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:625/36  |  提交时间:2016/05/26 |
| 无权访问的条目 学位论文 作者: 骆伟 Adobe PDF(3975Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:639/2  |  提交时间:2015/12/08 |
| 氮化铝MEMS谐振器关键技术研究 学位论文 , 北京: 中国科学院大学, 2015 作者: 杨健 Adobe PDF(3486Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1017/55  |  提交时间:2015/06/02 氮化铝 Mems 谐振器 有限单元法 压电系数测试 Icp刻蚀 |