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面向血压监测的微型MEMS压阻式压力传感器的研究与制备 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者:  宋培帅
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高性能MEMS加速度计的研究与制备 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2020
作者:  张萌
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AlGaN/GaN电力电子器件的设计、制备与可靠性分析 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2018
作者:  梁亚楠
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无权访问的条目 学位论文
作者:  王凤翔
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氮化铝MEMS面内伸缩模态谐振器(CMR)的研究 学位论文
, 北京: 中国科学院大学, 2017
作者:  侯云虹
Adobe PDF(2817Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:738/30  |  提交时间:2017/06/01
无权访问的条目 学位论文
作者:  赵继聪
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无权访问的条目 学位论文
作者:  吕兴东
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新型阵列级联耦合结构AlN谐振器的研制 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2016
作者:  张萌
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无权访问的条目 学位论文
作者:  骆伟
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氮化铝MEMS谐振器关键技术研究 学位论文
, 北京: 中国科学院大学, 2015
作者:  杨健
Adobe PDF(3486Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1017/55  |  提交时间:2015/06/02
氮化铝  Mems  谐振器  有限单元法  压电系数测试  Icp刻蚀