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ZnO基MEMS NO2 气体传感器的制备及性能优化研究 学位论文
工学硕士, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2023
作者:  卢晓锐
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血压监测 MEMS 压力传感器制备及可植入封装 学位论文
工程硕士, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2023
作者:  尤志伟
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高精度MEMS陀螺仪与测控电路系统关键技术研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022
作者:  胥鹏飞
Adobe PDF(10317Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:298/2  |  提交时间:2022/07/15
高精度MEMS陀螺仪与测控电路系统关键技术研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022
作者:  胥鹏飞
Adobe PDF(10317Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:457/2  |  提交时间:2022/07/25
无权访问的条目 学位论文
作者:  杨冲
Adobe PDF(4237Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:4/0  |  提交时间:2021/06/17
Cu2Se 纳米薄膜制备及其热电性能研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者:  杨亮亮
Adobe PDF(8890Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:372/1  |  提交时间:2021/06/17
面向血压监测的微型MEMS压阻式压力传感器的研究与制备 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者:  宋培帅
Adobe PDF(4880Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:390/3  |  提交时间:2021/06/18
高性能MEMS加速度计的研究与制备 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2020
作者:  张萌
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可级联椭圆结构AlN BAW谐振器研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2019
作者:  杨帆
Adobe PDF(4558Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:436/8  |  提交时间:2019/11/12
谐振型集成光学陀螺仪波导环形谐振腔以及信号处理系统的研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2018
作者:  费瑶
Adobe PDF(5473Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:686/34  |  提交时间:2018/06/01
光学陀螺  Sagnac效应  集成光学  平面光波导