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| ZnO基MEMS NO2 气体传感器的制备及性能优化研究 学位论文 工学硕士, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2023 作者: 卢晓锐
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| 血压监测 MEMS 压力传感器制备及可植入封装 学位论文 工程硕士, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2023 作者: 尤志伟
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| 高精度MEMS陀螺仪与测控电路系统关键技术研究 学位论文 , 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022 作者: 胥鹏飞![](/image/person.jpg)
Adobe PDF(10317Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:298/2  |  提交时间:2022/07/15 |
| 高精度MEMS陀螺仪与测控电路系统关键技术研究 学位论文 , 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022 作者: 胥鹏飞![](/image/person.jpg)
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| 无权访问的条目 学位论文 作者: 杨冲
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| Cu2Se 纳米薄膜制备及其热电性能研究 学位论文 , 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021 作者: 杨亮亮
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| 面向血压监测的微型MEMS压阻式压力传感器的研究与制备 学位论文 , 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021 作者: 宋培帅![](/image/person.jpg)
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| 高性能MEMS加速度计的研究与制备 学位论文 , 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2020 作者: 张萌
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| 可级联椭圆结构AlN BAW谐振器研究 学位论文 , 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2019 作者: 杨帆
Adobe PDF(4558Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:436/8  |  提交时间:2019/11/12 |
| 谐振型集成光学陀螺仪波导环形谐振腔以及信号处理系统的研究 学位论文 , 北京: 中国科学院研究生院, 2018 作者: 费瑶
Adobe PDF(5473Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:686/34  |  提交时间:2018/06/01 光学陀螺 Sagnac效应 集成光学 平面光波导 |