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| ZnO基MEMS NO2 气体传感器的制备及性能优化研究 学位论文
工学硕士, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2023
作者: 卢晓锐
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| 血压监测 MEMS 压力传感器制备及可植入封装 学位论文
工程硕士, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2023
作者: 尤志伟
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| 高精度MEMS陀螺仪与测控电路系统关键技术研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022
作者: 胥鹏飞
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| 基于等离子体波的室温场效应晶体管微波太赫兹探测器 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022
作者: 黄镇
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| 高精度MEMS陀螺仪与测控电路系统关键技术研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022
作者: 胥鹏飞
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| 面向血压监测的微型MEMS压阻式压力传感器的研究与制备 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者: 宋培帅
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| 可级联椭圆结构AlN BAW谐振器研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2019
作者: 杨帆
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| 谐振型集成光学陀螺仪波导环形谐振腔以及信号处理系统的研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2018
作者: 费瑶
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光学陀螺 Sagnac效应 集成光学 平面光波导 |
| 氮化铝MEMS面内伸缩模态谐振器（CMR）的研究 学位论文
, 北京: 中国科学院大学, 2017
作者: 侯云虹
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| 固体脉冲激光器应用于非晶硅薄膜结晶的研究 学位论文
, 北京: 中国科学院大学, 2017
作者: 王帅
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