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用于微纳米材料热电性能测量的微悬空结构研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者:  魏江涛
Adobe PDF(5222Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：341/0  |  提交时间：2021/06/17
谐振型集成光学陀螺仪系统研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者:  何玉铭
Adobe PDF(6703Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：404/2  |  提交时间：2021/06/18
无权访问的条目 学位论文
作者:  冯佐
Adobe PDF(2902Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2021/06/18
基于硅-玻璃盖板的MEMS加速度计制备研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者:  何昱蓉
Adobe PDF(4765Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：382/0  |  提交时间：2021/06/16
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Zhao, Dongyan;   Wang, Yubo;   Shao, Jin;   Zhang, Peng;   Chen, Yanning;   Fu, Zhen;   Wang, Shuaipeng;   Zhao, Wenlong;   Zhou, Zhimei;   Yuan, Yuandong;   Fu, Dengyuan;   Zhu, Yinfang
Adobe PDF(6337Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：0/0  |  提交时间：2022/05/19
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Xu, Pengfei;   Wei, Zhenyu;   Jia, Lu;   Zhao, Yongmei;   Han, Guowei;   Si, Chaowei;   Ning, Jin;   Yang, Fuhua
Adobe PDF(5513Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：0/0  |  提交时间：2022/03/28
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Ma, Zhe;   Wei, Jiangtao;   Song, Peishuai;   Zhang, Mingliang;   Yang, Liangliang;   Ma, Jing;   Liu, Wen;   Yang, Fuhua;   Wang, Xiaodong
Adobe PDF(11539Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：0/0  |  提交时间：2022/12/29
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Xu, Pengfei;   Wei, Zhenyu;   Guo, Zhiyu;   Jia, Lu;   Han, Guowei;   Si, Chaowei;   Ning, Jin;   Yang, Fuhua
Adobe PDF(4556Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：0/0  |  提交时间：2022/07/26