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硅衬底上氮化锆薄膜磁控溅射制备生长研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者:  高洁
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Chu, Zema;   Ye, Qiufeng;   Zhao, Yang;   Ma, Fei;   Yin, Zhigang;   Zhang, Xingwang;   You, Jingbi
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