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高性能MEMS加速度计的研究与制备 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2020
作者:  张萌
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Zeng Liu;   Shan Li;   Zuyong Yan;   Yuanyuan Liu;   Yusong Zhi;   Xia Wang;   Zhenping Wu;   Peigang Li ;   Weihua Tang
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Peishuai Song;  Zhe Ma;  Jing Ma;  Liangliang Yang;  Jiangtao Wei;  Yongmei Zhao;  Mingliang Zhang;  Fuhua Yang ;  Xiaodong Wang
Adobe PDF(5020Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：0/0  |  提交时间：2021/12/16
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Peishuai Song;  Chaowei Si;  Mingliang Zhang;  Yongmei Zhao;  Yurong He;  Wen Liu;  Xiaodong Wang
Adobe PDF(3333Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：0/0  |  提交时间：2021/12/16