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氮化铝谐振式压电MEMS 加速度计研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2019
作者:  杨健
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Ruilin Meng;   Xiaoli Ji;   Zheng Lou;   Jiankun Yang;   Yonghui Zhang;   Zihui Zhang;   Wengang Bi;   Junxi Wang;   Tongbo Wei
Adobe PDF(1842Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：116/0  |  提交时间：2020/08/05