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中国科学院半导体研究所 773 集成光电子学国家重点实验室 185 中科院半导体材料科学重点实验室 176
半导体超晶格国家重点实验室 144 光电系统实验室 53 半导体材料科学中心 47
纳米光电子实验室 35 半导体集成技术工程研究中心 33 中科院半导体照明研发中心 29
全固态光源实验室 27 半导体人工神经网络实验室 14 光电子研究发展中心 10
光电子器件国家工程中心 10 高性能集成电路实验室 5 科半公司 3
中国科学院半导体研究所（2009年前） 1 表面物理国家重点实验室 1