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中国科学院半导体研究所 18728 中国科学院半导体研究所（2009年前） 8684 半导体超晶格国家重点实验室 2325
中科院半导体材料科学重点实验室 2073 光电子研究发展中心 1821 集成光电子学国家重点实验室 872
中科院半导体照明研发中心 703 半导体集成技术工程研究中心 486 光电系统实验室 434
纳米光电子实验室 319 全固态光源实验室 255 高速电路与神经网络实验室 205
固态光电信息技术实验室 170 光电子器件国家工程中心 112 半导体材料科学中心 110
半导体人工神经网络实验室 76 北京纳米能源与系统研究所 45 高性能集成电路实验室 27
科半公司 8 表面物理国家重点实验室 3