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中国科学院半导体研究所 315 中国科学院半导体研究所（2009年前） 278 中科院半导体材料科学重点实验室 12
半导体超晶格国家重点实验室 9 集成光电子学国家重点实验室 9 半导体材料科学中心 6
光电系统实验室 1