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中国科学院半导体研究所 927 中国科学院半导体研究所（2009年前） 625 半导体集成技术工程研究中心 209
高性能集成电路实验室 20 半导体超晶格国家重点实验室 18 集成光电子学国家重点实验室 15
光电子研究发展中心 12 中科院半导体照明研发中心 8 中科院半导体材料科学重点实验室 8
高速电路与神经网络实验室 4 光电系统实验室 3 固态光电信息技术实验室 2
纳米光电子实验室 1 半导体人工神经网络实验室 1 全固态光源实验室 1