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中国科学院半导体研究所 3771 中国科学院半导体研究所（2009年前） 2103 中科院半导体材料科学重点实验室 1364
纳米光电子实验室 94 半导体材料科学中心 69 中科院半导体照明研发中心 59
半导体超晶格国家重点实验室 36 集成光电子学国家重点实验室 16 光电子研究发展中心 11
半导体集成技术工程研究中心 9 全固态光源实验室 6 表面物理国家重点实验室 3
光电子器件国家工程中心 1