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中国科学院半导体研究所 76 中国科学院半导体研究所(2009年前) 27 纳米光电子实验室 13
光电系统实验室 10 光电子研究发展中心 8 中科院半导体材料科学重点实验室 7
半导体超晶格国家重点实验室 6 集成光电子学国家重点实验室 3 半导体集成技术工程研究中心 2