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中国科学院半导体研究所 546 中国科学院半导体研究所（2009年前） 124 半导体超晶格国家重点实验室 117
中科院半导体材料科学重点实验室 104 光电子研究发展中心 94 集成光电子学国家重点实验室 55
中科院半导体照明研发中心 17 半导体集成技术工程研究中心 13 纳米光电子实验室 6
固态光电信息技术实验室 5 半导体人工神经网络实验室 4 全固态光源实验室 4
高速电路与神经网络实验室 2 半导体材料科学中心 1