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中国科学院半导体研究所 1104 中国科学院半导体研究所（2009年前） 353 中科院半导体材料科学重点实验室 189
半导体超晶格国家重点实验室 162 光电子研究发展中心 131 中科院半导体照明研发中心 59
集成光电子学国家重点实验室 47 纳米光电子实验室 36 全固态光源实验室 34
光电系统实验室 31 半导体集成技术工程研究中心 23 高速电路与神经网络实验室 14
固态光电信息技术实验室 12 光电子器件国家工程中心 9 半导体材料科学中心 2
高性能集成电路实验室 2