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中国科学院半导体研究所 181 中国科学院半导体研究所(2009年前) 76 半导体超晶格国家重点实验室 34
中科院半导体材料科学重点实验室 31 中科院半导体照明研发中心 12 光电子研究发展中心 11
全固态光源实验室 6 集成光电子学国家重点实验室 4 半导体集成技术工程研究中心 3
光电系统实验室 3 纳米光电子实验室 1