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中国科学院半导体研究所 85 中国科学院半导体研究所（2009年前） 35 中科院半导体材料科学重点实验室 32
半导体材料科学中心 9 半导体超晶格国家重点实验室 2 纳米光电子实验室 2
全固态光源实验室 2 高速电路与神经网络实验室 2 高性能集成电路实验室 1