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中国科学院半导体研究所 69 中国科学院半导体研究所(2009年前) 22 中科院半导体材料科学重点实验室 19
半导体超晶格国家重点实验室 10 光电子研究发展中心 8 半导体集成技术工程研究中心 6
集成光电子学国家重点实验室 2 纳米光电子实验室 1 高速电路与神经网络实验室 1