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中国科学院半导体研究所 604 中国科学院半导体研究所（2009年前） 253 中科院半导体材料科学重点实验室 91
集成光电子学国家重点实验室 71 光电子研究发展中心 52 半导体集成技术工程研究中心 43
半导体超晶格国家重点实验室 39 中科院半导体照明研发中心 16 全固态光源实验室 13
光电系统实验室 11 纳米光电子实验室 10 半导体材料科学中心 3
光电子器件国家工程中心 1 高速电路与神经网络实验室 1