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中国科学院半导体研究所 161 中科院半导体照明研发中心 133 中国科学院半导体研究所（2009年前） 14
半导体超晶格国家重点实验室 6 光电子研究发展中心 4 半导体集成技术工程研究中心 3
纳米光电子实验室 1