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中国科学院半导体研究所 67 光电子研究发展中心 21 全固态光源实验室 17
中国科学院半导体研究所(2009年前) 11 中科院半导体材料科学重点实验室 8 半导体超晶格国家重点实验室 4
集成光电子学国家重点实验室 2 半导体材料科学中心 1 半导体集成技术工程研究中心 1
纳米光电子实验室 1 固态光电信息技术实验室 1