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中国科学院半导体研究所 183 中国科学院半导体研究所（2009年前） 110 半导体集成技术工程研究中心 31
全固态光源实验室 15 光电系统实验室 11 集成光电子学国家重点实验室 9
中科院半导体材料科学重点实验室 4 光电子研究发展中心 3