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中国科学院半导体研究所 20 中国科学院半导体研究所（2009年前） 13 光电子器件国家工程中心 2
光电系统实验室 2 半导体超晶格国家重点实验室 1 半导体集成技术工程研究中心 1
全固态光源实验室 1