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中国科学院半导体研究所 75 半导体超晶格国家重点实验室 51 中国科学院半导体研究所（2009年前） 13
半导体集成技术工程研究中心 7 纳米光电子实验室 2 集成光电子学国家重点实验室 1
光电系统实验室 1