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中国科学院半导体研究所 197 中国科学院半导体研究所（2009年前） 54 纳米光电子实验室 52
固态光电信息技术实验室 46 光电子研究发展中心 28 集成光电子学国家重点实验室 9
中科院半导体材料科学重点实验室 7 半导体集成技术工程研究中心 1