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中国科学院半导体研究所 375 中国科学院半导体研究所（2009年前） 141 中科院半导体材料科学重点实验室 51
纳米光电子实验室 39 半导体集成技术工程研究中心 34 半导体超晶格国家重点实验室 23
光电子研究发展中心 23 中科院半导体照明研发中心 19 光电系统实验室 15
光电子器件国家工程中心 11 全固态光源实验室 11 集成光电子学国家重点实验室 3
固态光电信息技术实验室 2 半导体材料科学中心 1 高性能集成电路实验室 1
高速电路与神经网络实验室 1