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中国科学院半导体研究所 252 中国科学院半导体研究所(2009年前) 93 中科院半导体材料科学重点实验室 47
半导体集成技术工程研究中心 36 光电子研究发展中心 19 半导体超晶格国家重点实验室 13
中科院半导体照明研发中心 13 全固态光源实验室 11 集成光电子学国家重点实验室 10
光电系统实验室 6 纳米光电子实验室 4