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国家863计划 5 Japan Soc Appl Phys, 2 Japan Soc Appl Phys. 1
This work was suppor 1 中国科学院科研装备研制项目,国家自然科学 1 国家攀登计划,国家自然科学基金 1
国家自然科学基金(6 86 1;69 1 国家自然科学基金(6 86 1;69 1 国家自然科学基金,攀登计划 1
国家自然科学基金资助项目(no.5 7 1 国家自然科学基金（No.6 86 1 1 国家重点基础研究发展规划资助项目(G2 1
国家高技术研究发展计划资助项目 1 集成光电子学联合国家重点实验室基金,国家 1 集成光电子联合实验室中科院半导体所实验区 1