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中国科学院半导体研究所 53 中科院半导体材料科学重点实验室 18 中国科学院半导体研究所(2009年前) 12
半导体超晶格国家重点实验室 12 光电子研究发展中心 6 半导体集成技术工程研究中心 3
光电系统实验室 1 固态光电信息技术实验室 1