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中国科学院半导体研究所 609 中国科学院半导体研究所（2009年前） 233 中科院半导体材料科学重点实验室 173
光电子研究发展中心 53 半导体超晶格国家重点实验室 42 半导体材料科学中心 18
高速电路与神经网络实验室 18 高性能集成电路实验室 17 中科院半导体照明研发中心 15
半导体集成技术工程研究中心 14 纳米光电子实验室 8 固态光电信息技术实验室 6
集成光电子学国家重点实验室 4 光电子器件国家工程中心 3 半导体人工神经网络实验室 3
全固态光源实验室 1 光电系统实验室 1