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中国科学院半导体研究所 41 中科院半导体材料科学重点实验室 21 半导体材料科学中心 11
中国科学院半导体研究所（2009年前） 6 集成光电子学国家重点实验室 1 表面物理国家重点实验室 1
半导体集成技术工程研究中心 1