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中国科学院半导体研究所 36 中国科学院半导体研究所(2009年前) 18 光电子研究发展中心 7
中科院半导体材料科学重点实验室 3 半导体集成技术工程研究中心 3 光电系统实验室 3
集成光电子学国家重点实验室 2