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中国科学院半导体研究所 72 光电子研究发展中心 31 中国科学院半导体研究所(2009年前) 15
半导体超晶格国家重点实验室 14 中科院半导体材料科学重点实验室 5 集成光电子学国家重点实验室 3
全固态光源实验室 1 高性能集成电路实验室 1 光电系统实验室 1
固态光电信息技术实验室 1