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中国科学院半导体研究所 97 中科院半导体材料科学重点实验室 33 集成光电子学国家重点实验室 25
中国科学院半导体研究所(2009年前) 15 光电子研究发展中心 14 半导体集成技术工程研究中心 5
半导体超晶格国家重点实验室 4 北京纳米能源与系统研究所 1